Títol traduït de la contribució | nfluence of Nonuniform Pupils in Imaging Periodical Structures by Photolithography Systems |
---|---|
Idioma original | Anglès |
Pàgines (de-a) | 1353-1363 |
Revista | Opt. Eng. (New York, N.Y.) |
Volum | 37 |
Número | 4 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 d’abr. 1998 |
Influence of Nonuniform Pupils in Imaging Periodical Structures by Photolithography Systems
R. Hild, M.J Yzuel, J.C. Escalera, J. Campos
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca
10
Cites
(Scopus)