Influence of Nonuniform Pupils in Imaging Periodical Structures by Photolithography Systems

Títol traduït de la contribució: nfluence of Nonuniform Pupils in Imaging Periodical Structures by Photolithography Systems

R. Hild, M.J Yzuel, J.C. Escalera, J. Campos

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecerca

10 Cites (Scopus)
Títol traduït de la contribuciónfluence of Nonuniform Pupils in Imaging Periodical Structures by Photolithography Systems
Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)1353-1363
RevistaOpt. Eng. (New York, N.Y.)
Volum37
Número4
Estat de la publicacióPublicada - 1 d’abr. 1998

Com citar-ho