Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 421-425 |
Revista | Journal of vacuum science & technology. B |
Volum | 27 |
Número | 1 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2009 |
Implanted and irradiated SiO2/Si structures electrical properties at the nanoscale
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca › Avaluat per experts