High-sensitivity capacitive readout system for resonant submicrometer-scale cantilevers based sensors

J. Verd, G. Abadal, J. Teva, A. Uranga, N. Barniol, J. Esteve, M. Duch, F. Pérez-Murano

    Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

    Idioma originalEnglish
    Títol de la publicacióIEEE international symposium on circuits and systems, ISCAS 2005
    Lloc de publicacióKobe (JP)
    Pàgines4209-4212
    Nombre de pàgines3
    Edició1
    Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2005

    Com citar-ho