Idioma original | Anglès |
---|---|
Títol de la publicació | The 15th international conference on solid-state sensors, actuators and microsystems. Transducers'09 |
Lloc de publicació | Denver (US) |
Pàgines | 557-560 |
Nombre de pàgines | 3 |
Edició | 1 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2009 |
High Q CMOS_MEMS resonator and its application as a RF tunable band-pass filter
J.Ll López, J. Verd, J. Giner, A. Uranga, G. Murillo, E. Marigo, F. Torres, G. Abadal, N. Barniol
Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca