High Q CMOS_MEMS resonator and its application as a RF tunable band-pass filter

J.Ll López, J. Verd, J. Giner, A. Uranga, G. Murillo, E. Marigo, F. Torres, G. Abadal, N. Barniol

Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

Idioma originalAnglès
Títol de la publicacióThe 15th international conference on solid-state sensors, actuators and microsystems. Transducers'09
Lloc de publicacióDenver (US)
Pàgines557-560
Nombre de pàgines3
Edició1
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2009

Com citar-ho