Growth, reliability and electrical characterization of thin dielectrics in MOS devices at a nanometer scale with C-AFM

M. Porti, X. Blasco, M. Nafría, X. Aymerich, A. Mendez-Vilas (Editor), L. Labajos-Broncano (Editor)

Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca › Avaluat per experts

Idioma original	Anglès
Títol de la publicació	Current Issues on Multidisciplinary Microscopy Research and Education
Lloc de publicació	Badajoz (ES)
Pàgines	257-264
Nombre de pàgines	7
Edició	1
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 2005

Com citar-ho

@inbook{4dc034f27ab34918b02d4a7066869e7d,

title = "Growth, reliability and electrical characterization of thin dielectrics in MOS devices at a nanometer scale with C-AFM",

author = "M. Porti and X. Blasco and M. Nafr{\'i}a and X. Aymerich and A. Mendez-Vilas and L. Labajos-Broncano",

year = "2005",

month = jan,

day = "1",

language = "English",

isbn = "978-84-609-6605-4",

pages = "257--264",

booktitle = "Current Issues on Multidisciplinary Microscopy Research and Education",

edition = "1",

}

TY - CHAP

T1 - Growth, reliability and electrical characterization of thin dielectrics in MOS devices at a nanometer scale with C-AFM

AU - Porti, M.

AU - Blasco, X.

AU - Nafría, M.

AU - Aymerich, X.

A2 - Mendez-Vilas, A.

A2 - Labajos-Broncano, L.

PY - 2005/1/1

Y1 - 2005/1/1

M3 - Chapter

SN - 978-84-609-6605-4

SP - 257

EP - 264

BT - Current Issues on Multidisciplinary Microscopy Research and Education

CY - Badajoz (ES)

ER -