Growth, reliability and electrical characterization of thin dielectrics in MOS devices at a nanometer scale with C-AFM

M. Porti, X. Blasco, M. Nafría, X. Aymerich, A. Mendez-Vilas (Editor), L. Labajos-Broncano (Editor)

Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecercaAvaluat per experts

Idioma originalAnglès
Títol de la publicacióCurrent Issues on Multidisciplinary Microscopy Research and Education
Lloc de publicacióBadajoz (ES)
Pàgines257-264
Nombre de pàgines7
Edició1
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2005

Com citar-ho