Growth and stress characterization of LPCVD SiC films deposited on bare, carbonized and oxidized Si(001) substrates

E. Hurtós, J. Rodríguez-Viejo, K. Zekentes, M. T. Clavaguera-Mora

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

1 Citació (Scopus)

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'Growth and stress characterization of LPCVD SiC films deposited on bare, carbonized and oxidized Si(001) substrates'. Junts formen un fingerprint únic.

Keyphrases

Engineering

Earth and Planetary Sciences

Material Science