Growth and characterization of LPCVD SiC grown on SiO2Si(100) substrates

J. Rodriguez, N. Clavaguera, M.T. Clavaguera, G. Arnaud, J. Camassel, J. Pascual, S. Berberich, J. Millan

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

3 Cites (Scopus)
Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)98-98
RevistaMaterials Science and Technology
Volum12
Número0
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 1996

Com citar-ho