Full wafer size investigation of N\super+ and P\super+ co-implanted in 4H-SiC

S. Blanqué, J. Lyonnet, R. Pérez, D' altri, Jordi Pascual Gainza

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecerca

1 Citació (Scopus)
Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)698-704
RevistaPhys. status solidi, A Appl. mater. sci. (Print)
Volum202
Número4
DOIs
Estat de la publicacióPublicada - 1 de març 2005

Com citar-ho