Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 698-704 |
Revista | Phys. status solidi, A Appl. mater. sci. (Print) |
Volum | 202 |
Número | 4 |
DOIs | |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de març 2005 |
Full wafer size investigation of N\super+ and P\super+ co-implanted in 4H-SiC
S. Blanqué, J. Lyonnet, R. Pérez, D' altri, Jordi Pascual Gainza
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca
1
Citació
(Scopus)