Idioma original | English |
---|---|
Títol de la publicació | 21st IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2008 13-17 Jan. |
Lloc de publicació | Tucson (US) |
Pàgines | 82-85 |
Nombre de pàgines | 3 |
Edició | 1 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2008 |
From VHF to UHF CMOS-MEMS monolithically integrated resonators
J. Teva, G. Abadal, A. Uranga, J. Verd, F. Torres, J.Ll López, J. Esteve, F. Pérez-Murano, N. Barniol
Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca