From VHF to UHF CMOS-MEMS monolithically integrated resonators

J. Teva, G. Abadal, A. Uranga, J. Verd, F. Torres, J.Ll López, J. Esteve, F. Pérez-Murano, N. Barniol

Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

Idioma originalEnglish
Títol de la publicació21st IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2008 13-17 Jan.
Lloc de publicacióTucson (US)
Pàgines82-85
Nombre de pàgines3
Edició1
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2008

Com citar-ho