Failure physics of ultra-thin SiO<inf>2</inf>gate oxides near their scaling limit

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

23 Cites (Scopus)

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'Failure physics of ultra-thin SiO<inf>2</inf>gate oxides near their scaling limit'. Junts formen un fingerprint únic.

Keyphrases

Engineering

Physics

Material Science