Design of a Modular Micropump Based on Anodic Bonding

Jaume Esteve Tinto, M.C. Acero, J.A. Plaza, M. Carmona, S. Marco, J. Samitier

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca

Idioma original	Anglès
Pàgines (de-a)	179-182
Revista	Journal of Micromechanics and Microengineering
Volum	7
Número	3
Estat de la publicació	Publicada - 1 de set. 1997

Com citar-ho

TY - JOUR

T1 - Design of a Modular Micropump Based on Anodic Bonding

AU - Esteve Tinto, Jaume

AU - Acero, M.C.

AU - Plaza, J.A.

AU - Carmona, M.

AU - Marco, S.

AU - Samitier, J.

PY - 1997/9/1

Y1 - 1997/9/1

M3 - Article

SN - 0960-1317

VL - 7

SP - 179

EP - 182

JO - Journal of Micromechanics and Microengineering

JF - Journal of Micromechanics and Microengineering

IS - 3

ER -