Design & development of semiconductor MOEMS and the requirement of international standardization with a focus on Architecture and design of Microsystems

    Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

    Idioma originalAnglès
    Títol de la publicacióProceedings of the International Seminar MEMSTAND: Standardisation for Microsystems the Way Forward
    Lloc de publicacióTeddington (GB)
    Pàgines118-129
    Nombre de pàgines11
    Edició1
    Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2003

    Com citar-ho