Idioma original | Anglès |
---|---|
Títol de la publicació | Proceedings of the International Seminar MEMSTAND: Standardisation for Microsystems the Way Forward |
Lloc de publicació | Teddington (GB) |
Pàgines | 118-129 |
Nombre de pàgines | 11 |
Edició | 1 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2003 |
Design & development of semiconductor MOEMS and the requirement of international standardization with a focus on Architecture and design of Microsystems
Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca