Damage reduction in channeled ion implanted 6H-SiC

E. Morvan, N. Mestres, F.J. Campos, J. Pascual, A. Hállen, M. Linnarsson, A.Y. Kutznetsov

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

3 Cites (Scopus)

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'Damage reduction in channeled ion implanted 6H-SiC'. Junts formen un fingerprint únic.

Keyphrases

Engineering

Material Science