Comparative Evaluation of Implantation Damage Produced by N and P Ions in 6H-SiC

J. Camassel, S. Blanque, N. Mestres, P. Godignon, J. Pascual

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)1-1
RevistaPhys. Stat. Sol. (B)
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2003

Com citar-ho