CMOS-SOI platform for monolithic integration of crystalline silicon MEMS
M. Villarroya, E. Figueras, J. Verd, J. Teva, G. Abadal, F. Pérez-Murano, J. Montserrat, A. Uranga, J. Esteve, N. Barniol
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca › Avaluat per experts
1
!!Link opens in a new tab
Citació
(Scopus)