Fingerprint
Navegar pels temes de recerca de 'CMOS-SOI platform for monolithic integration of crystalline silicon MEMS'. Junts formen un fingerprint únic.- Ordenar per
- Ponderació
- Alfabèticament
CMOS-SOI platform for monolithic integration of crystalline silicon MEMS
M. Villarroya, E. Figueras, J. Verd, J. Teva, G. Abadal, F. Pérez-Murano, J. Montserrat, A. Uranga, J. Esteve, N. Barniol
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca › Avaluat per experts
1
Citació
(Scopus)