Characterization of cmos-mems resonator by pulsed mode electrostatic actuation

J. L. Munoz-Gamarra, E. Marigo, J. Giner, A. Uranga, F. Torres, N. Barniol, IEEE

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca › Avaluat per experts

Idioma original	Anglès
Revista	2010 Ieee International Frequency Control Symposium (Fcs)
DOIs	https://doi.org/10.1109/FREQ.2010.5556300
Estat de la publicació	Publicada - 2010

Accés al document

TY - JOUR

T1 - Characterization of cmos-mems resonator by pulsed mode electrostatic actuation

AU - Munoz-Gamarra, J. L.

AU - Marigo, E.

AU - Giner, J.

AU - Uranga, A.

AU - Torres, F.

AU - Barniol, N.

AU - IEEE,

PY - 2010

Y1 - 2010

UR - https://www.scopus.com/pages/publications/77957886205

U2 - 10.1109/FREQ.2010.5556300

DO - 10.1109/FREQ.2010.5556300

M3 - Article

JO - 2010 Ieee International Frequency Control Symposium (Fcs)

JF - 2010 Ieee International Frequency Control Symposium (Fcs)

ER -