Cantilever based MEMS for multiple mass sensing

M. Villarroya, J. Verd, J. Teva, G. Abadal, F. Pérez-Murano, J. Esteve, N. Barniol

Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca

Idioma original	Anglès
Títol de la publicació	Phd research in microelectronics and electronics, PRIME 2005
Lloc de publicació	Lausanne (CH)
Pàgines	171-174
Nombre de pàgines	3
Edició	1
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 2005

Com citar-ho

@inbook{8e705f9e8b184d39a72eabaa92dfe3d5,

title = "Cantilever based MEMS for multiple mass sensing",

author = "M. Villarroya and J. Verd and J. Teva and G. Abadal and F. P{\'e}rez-Murano and J. Esteve and N. Barniol",

year = "2005",

month = jan,

day = "1",

language = "English",

isbn = "978-0-7803-9345-5",

pages = "171--174",

booktitle = "Phd research in microelectronics and electronics, PRIME 2005",

edition = "1",

}