A Single-chip AlScN PMUTs-on-CMOS hydrophone

Eyglis Ledesma, Aránzazu Uranga del Monte, Núria Barniol i Beumala

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca › Avaluat per experts

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'A Single-chip AlScN PMUTs-on-CMOS hydrophone'. Junts formen un fingerprint únic.

Keyphrases

Engineering