Technology and characterization of silicon carbide films for high temperature applications TECSICA

L'objectiu primordial és obtenir làmines molt primes de carbur de silici amorfes, policristal·lines i monocristal·lines per LPCVD i per MBE, dopades o no durant l'obtenció, o per implantació iònica. S'investigaran les propietats físiques i òptiques, que poden ser d'utilitat per al disseny i l'actuació de sistemes integrats. S'analitzarà la morfologia d'aquestes pel·lícules per TEM, XRD i espectroscòpia Raman per conèixer-ne l'estructura, l'estequiometria i els mecanismes decreixement cristal·lí. Els resultats que se n'obtindran seran bàsics per al disseny de sistemes integrats que incorporaran sensors de millors prestacions.