Integración de tecnologia microelectrónica y procesos de nanofabricación para el desarrollo de sensores de masa/biosensores

L'objectiu del projecte és del desenvolpament d'un sensor resonant de massa de sensibilitat molt alta, fabricat mitjançant processos microtecnològics (processos microelectrònics compatibles CMOS) i processos de nanofabricación. L'element sensor es basarà en palanques (flejes o "cantivelers") de silici de dimensions submicromètriques. Al final del projecte, s'espera comptar amb un prototip amb sensibilitat superior a la dècima de femtogram. Un sensor amb aquesta resolució té un ampli rang de aplicacions. En el present projecte, ens centrametn an aplicacions bioquímiques i concretament, en la funcionalització del sensor per la detecció de molècules biològiques (biosensor). La utilització de processos de nanofabricaicó és la principal innovació del projecte i permet augmentar la sensibilitat en front dels sensors comercials actuals. La combinació d'aquests processos amb processos microelectrònics estàndar permeten integrar monolíticament junt al sensor un circuit electrònic integrat, el qual permet fer visible les propietats del sensor. Com a resultat final del projecte es preveu disposar d'un "array" se sensors resonants basats en microflejes per la detecció de molècules biològiques. La realització del sensor es portarà a terme a partir de la colaboració de tres grups: El grup de la UAB estarà a càrrec de la definició del sistema de detecció i del disseny dels circuits electrònics integrats; El grup del CNM serà el responsable dels processos tecnològics de fabricaicó. El procés concret final de nanofabricació es portarà a terme en el Mikroelektronik Centert a Dinamarca, gracies a la col·laboració d'aquests tres grups en el marc del projecte europeu NANOMASS. Finalmente, la aplicabilidad del sensor es demostrarà a partir de la detecció de biomolècules. Per això, el grup de la UB serà l'encarregat de dissenyar i realtizat la funcionalització del sensor.